鍍膜靶材有幾種

鍍膜用靶材種類有 :鉻(Cr)靶、鈦(Ti)靶、鋯(Zr)、鎳(Ni)、鎢(W)、鈦鋁(TiAl)、不鏽鋼靶等。

鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他型別的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。