spm清洗是什麼意思

SPM代表硫酸氫過氧化混合物。硫酸與過氧化氫的混合物是微電子行業普遍使用的清洗藥液，業內簡稱spm。spm的主要用途是用來清洗基片，如矽晶圓、光掩模上的有機汙染物。spm清洗有機汙染物的主要工作原理是利用spm的強氧化性將有機物脫水並氧化成二氧化碳和水。