什麼是決速反應

決速反應是指在低的晶圓片溫度下，澱積速率隨溫度倒數減小而增加，在此區域，工藝中的限制在於某一步反應的速率，該反應可能發生在氣相中也可能在表面。所提供的資訊不足以確定氣體是處於化學平衡還是動力學控制的。