超純氫跟純氫區別
超純氫作為還原氣體和保護氣,主要用於半導體器件、積體電路晶片以及液晶平板顯示器生產等領域,且氫氣的純度直接影響最終的產品質量。
純氫是常溫常壓下,氫氣是一種極易燃燒,無色透明、無臭無味且難溶於水的氣體。氫氣是世界上已知的密度最小的氣體,氫氣的密度只有空氣的1/14,即氫氣在1標準大氣壓和0℃,氫氣的密度為0.089g/L。
超純氫和純氫氣的區別就是濃度的不同 工業氫是一般工業所使用的氫氣超純氫、高純氫、純氫是按照純度區分的,其區分標準
工業氫、超純氫、高純氫、純氫的純度區分標準
項 目
GB/T3634—1995 GB/T7445—1995
工業氫 超純氫 高純氫 純氫
氫純度/×10-2 ≥ 99.9 99.9999 99.999 99.99
氧含量/×10-6 ≤ 100~4000 0.2 1 5
氮含量/×10-6 ≤ 400~6000 0.4 5 60
CO/×10-6 ≤ 無規定 0.1 1 5
CO2/×10-6 ≤ 無規定 0.1 1 5
CH4/×10-6 ≤ 0.2 1 10
水分/×10-6 ≤ 遊離水100mL/瓶(合格品) 1 3 30
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