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lam,research創始人

心理2.97W
lam research創始人

創始人是:林傑屏

我們在《光刻機之戰》中討論跨越193nm時,曾提到尼康和IBM押寶EBDW(E-beam Direct Write,電子束直寫或叫EPL,電子束投射)。

100KeV電子束的波長只有0.004nm,分辨率對比EUV優勢太大了。而且電子束可以用成熟的磁透鏡,不像EUV那樣得用反射鏡。

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