上海生產的國產裝置系統有哪些

上海生產的國產裝置系統有

光刻機國產化——上海微電子

上海微電子代表著我國在光刻機領域的研究水平，其生產製造的光刻機在我國的市場中佔比達到了80%以上。

上海微電子成立於2002年，主要致力於半導體裝備、泛半導體裝備、高階智慧裝備的開發、設計、製造、銷售及技術服務。