探针的材质组成
探针的材质是由Au、Ag、Pd、Cu组成,Au浓度4055重量%,Ag浓度1530重量X,且Pd和Cu的总浓度1540重量%。Au是良好的导电体,并且耐氧化性优良,但另一方面,Au较柔软,在硬度方面较差。
通过添加具有以下作用的Ag、Pd、Cu作为Au的合金元素,从而实现了硬度、导电性、耐氧化性的平衡。在此,Pd和Cu虽然具有提高合金的硬度的作用,但对导电性的影响不同,Pd具有提高比电阻的倾向,而Cu具有降低比电阻的倾向。
此外,Ag对硬度的影响小,是为了降低比电阻而添加的。即,Ag是为了抵消因添加Pd使得Au浓度降低而导致的比电阻的上升而添加的。
根据上述各元素的作用,满足探针用途中的硬度和比电阻的要求的组成是如下组成Au浓度为4055重量%,Ag浓度为1530重量%,在其中添加以Pd和Cu两种元素的总浓度计为1540重量%的Pd和Cu。优选的组成是Au浓度4050重量%,Ag浓度1530重量%,Pd和Cu的总浓度3040重量%。
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