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![rga残余气体分析仪原理]( "rga残余气体分析仪原理")
rga残余气体分析仪原理
残余气体分析仪是在真空腔内利用RGA离子分化器将气体分子电离，电离后的带电粒子进入四极杆产生的偏转电场内，由于不同的粒子质量数不一样，在一定的电场作用下所形成的偏转半径就不一样。RGA是残留气体分析ResidualGasAna...
