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cryo，pump原理
低温泵(cryopump)利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵是获得清洁真空的极限压力zui低、抽气速率zui大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、...
