mfc氣動閥是什麼

質量流量控制器， 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）， 不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用户可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恆定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境温度有變化，也不會使其偏離設定值。簡單地説，質量流量控制器就是一個穩流裝置， 是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。