探针的材质组成

探针的材质是由Au、Ag、Pd、Cu组成，Au浓度4055重量％，Ag浓度1530重量X，且Pd和Cu的总浓度1540重量％。Au是良好的导电体，并且耐氧化性优良，但另一方面，Au较柔软，在硬度方面较差。

通过添加具有以下作用的Ag、Pd、Cu作为Au的合金元素，从而实现了硬度、导电性、耐氧化性的平衡。在此，Pd和Cu虽然具有提高合金的硬度的作用，但对导电性的影响不同，Pd具有提高比电阻的倾向，而Cu具有降低比电阻的倾向。

此外，Ag对硬度的影响小，是为了降低比电阻而添加的。即，Ag是为了抵消因添加Pd使得Au浓度降低而导致的比电阻的上升而添加的。

根据上述各元素的作用，满足探针用途中的硬度和比电阻的要求的组成是如下组成Au浓度为4055重量％，Ag浓度为1530重量％，在其中添加以Pd和Cu两种元素的总浓度计为1540重量％的Pd和Cu。优选的组成是Au浓度4050重量％，Ag浓度1530重量％，Pd和Cu的总浓度3040重量％。