iso8潔淨等級
這個iso8潔淨等級相當於十萬級!
1-9級可能是參照的ISO的標準國際標準
一般我們所說的百級相當於ISO5級,萬級相當於ISO7級,十萬級相當於ISO8級,一百萬級相當於ISO9級。
1,潔淨室或潔淨區內空氣懸浮粒子潔淨等級 還有著名的美國聯邦標準(.209系列)可以參考
2,ISO1644的ISO5相當於.209系列的100級(≥0.5μm粒子,≤3.5顆/升,或100顆/ft3,或3530顆/m3)
3,潔淨度等級在100級以下者(1000,10000級等)通常用0.5μm粒徑考核的居多
4,隨著微電子技術的發展,潔淨度等級相應提高,潔淨室檢測粒徑也越來越小(見表),對粒子檢測儀器的要求當然也越來越高,對潔淨室設計和施工方而言,在驗收時,可能不止用一個粒徑(如0.5μm)而要用到更多的粒徑,如0.3 μm 0.2μm 甚至0.1μm對潔淨室進行檢測評定。
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