什麼是外延技術

外延就是在單晶襯底上澱積一層薄的單晶層 。新澱積的這層稱為外延層。外延為器件設計者在優化器件效能方面提供了很大的靈活性，例如可以控制外延層摻雜厚度、濃度、輪廊，而這些因素是與矽片襯底無關的。

這種控制可以通過外延生長過程中的摻雜來實現。外延層還可以減少CMOS器件中的閂鎖效應。IC製造中最普通的外延反應是高溫CVD系統