維納製造工藝技術的內容

微納製造有兩種不同的微製造工藝方式：

一種是基於半導體制造工藝的光刻技術、LIGA技術、鍵合技術、封裝技術等，這些工藝技術方法較為成熟，但普遍存在加工材料單一、加工裝置昂貴等問題，且只能加工結構簡單的二維或準三維微機械零件，無法進行復雜的三維微機械零件的加工

另一種是機械微加工，是指採用機械加工、特種加工及其他成形技術等傳統加工技術形成的微加工技術，可進行三維複雜曲面零件的加工，加工材料不受限制，包括微細磨削、微細車削、微細銑削、微細鑽削、微衝壓、微成形等。

微納製造技術是指尺度為毫米、微米和奈米量級的零件，以及由這些零件構成的部件或系統的設計、加工、組裝、整合與應用技術。

傳統“巨集”機械製造技術已不能滿足這些“微”機械和“微”系統的高精度製造和裝配加工要求，必須研究和應用微納製造的技術與方法。微納製造技術是微感測器、微執行器、微結構和功能微納系統製造的基本手段和重要基礎