r14製冷劑特性

R14作為一款特種超低溫製冷劑，主要應用於要求溫度非常低的深冷裝置中(包括科研製冷、醫用製冷等)，R14同時也是超低溫配合冷媒的重要組分。

四氟化碳(四氟甲烷)是目前微電子工業中用量最大的電漿蝕刻氣體，其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應用於矽、二氧化矽、氮化矽、磷矽玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、鐳射技術、氣相絕緣、洩漏檢驗劑、印刷電路生產中的去汙劑等方面也大量使用。