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esi離子源是什麼

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esi離子源是什麼

esi離子源是離子束濺射(IBS)和離子束加工(IBF)裝置的關鍵部件。R&R公司的寬離子束源目前主要有Kaufman離子源、微波ECR離子源和RF離子源。其工作原理是利用氣體放電產生電漿體,電漿體由電子、離子和中性粒子所組成,並被引出成束,成為離子源。

主要分為: 1 kaufman離子源 kaufman離子源是應用較早的離子源,屬於柵格式離子源。

ESI離子源,Electron Spray Ionization的縮寫,意思是電噴霧離子源,是質譜儀中較為常用的一種離子化方式。

標籤:esi 離子源