icp電漿體溫度一般多少

首先這要看你的電漿體是屬於什麼型別的電漿體

依據電漿體中的重粒子溫度，可以把電漿體分為兩大類，熱電漿體和冷電漿體。

熱電漿體中，重粒子溫度為3×103 K—3×104 K，基本上達到了熱力學平衡，所以具有統一的熱力學溫度，可以用熱力學平衡狀態的麥克斯韋速度分佈、波爾茲曼粒子能態機率分佈和沙哈方程等確定電漿體的狀態和引數，例如電弧電漿體、高頻電漿體即屬於熱電漿體。由於熱電漿體的高能量密度，目前主要將其用於材料合成、球化、緻密以及保護性塗層的沉積。

冷電漿體中重粒子溫度只有室溫左右，而電子溫度可達上萬度，所以遠離熱力學平衡狀態，如輝光放電就屬於冷電漿體。冷電漿體主要用於電漿體刻蝕、沉積以及電漿體表面修飾。