矽單晶靶材用途
1、用於顯示器上
矽單晶靶材目前被普遍應用於平面顯示器(FPD)上。近年來,平面顯示器在市場上的應用率逐年增高,同時也帶動了ITO靶材的技術與市場需求。ITO靶材有兩種,一種是採用銦錫合金靶材,另外一種是採用奈米狀態的氧化銦和氧化錫粉混合後燒結。
2、用於微電子領域
靶材也被應用於半導體產業,相對來說半導體產業對於靶材濺射薄膜的品質要求是比較苛刻的。現在12英寸(300衄口)的矽晶片也被製作出來,但是互連線的寬度卻在減小。目前矽片製造商對於靶材的要求都是大尺寸、高純度、低偏析以及細晶粒等,對其品質要求比較高,這就要求靶材需要具有更好的微觀結構。
3、用於儲存技術上
儲技術行業對於靶材的需求量很大,高密度、大容量硬碟的發展,離不開大量的巨磁阻薄膜材料,CoF~Cu多層複合膜是如今應用比較廣泛的巨磁阻薄膜結構。磁光碟需要的TbFeCo合金靶材還在進一步發展,用它製造出來的磁光碟有著使用壽命長、儲存容量大以及可反覆無接觸擦寫的特點。
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