xps分峰擬合原理

XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy)又稱ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)，中文名：X射線光電子能譜儀。能夠分析出了氫，氦以外的所有元素。檢出限：測定精確到0.1at%， 空間分辨率為100um， X-RAY的分析深度在1.5nm左右。

一個公式：E(b)= hv-E(k)-W

E(b): 結合能（binding energy）

hv: 光子能量 （photo energy）

E(k): 電子的動能 （kinetic energy of the electron）

W: 儀器的功函式（spectrometer work function）