全氟乙烷用途

六氟乙烷，又稱全氟乙烷，是一種有機化合物，無色，不可燃氣體，不溶於水，溶於乙醇。臨界溫度19.7℃，常溫下(19.7℃)是壓縮氣體。化學性質不活潑。

用於微電子工業中作電漿蝕刻氣體以及器件表面清洗、光纖生產、低溫製冷

還可用作絕緣氣、電漿蝕刻劑，。也可用作製冷劑、發泡劑。