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壓力感測器可以雙面鎖合使用嗎

心理3.26W
壓力感測器可以雙面鎖合使用嗎

可以

壓力感應器之雙面接觸式是由三個矽晶片結合而成。為了得到很好效果的結合三個矽晶片都是需要嚴格的表面處理,這樣的話才能使壓力感應器的效果更加完美,對矽晶片的精度控制取決操作時的空間於是必須選擇在真空中來結合晶片。

雙面接觸式電容壓力感應器的製作原理是基於單面接觸式電容壓力感應器。當感應器的受壓膜片與基底距離非常近的時侯,膜片受壓後與基底接觸,當壓力數值變化時,通過改變接觸面積的大小來改變電容量。