碳化矽長晶爐原理

原理：

碳化矽加工用長晶爐，包括固定杆、長晶爐主體、緩衝塊和溫度顯示屏，所述固定杆的底側安裝有爐蓋，且爐蓋的內側設定有調控板，所述調控板的外壁鑲嵌有溼氣進口，且調控板的頂端和洩壓管相連線，所述長晶爐主體固定於爐蓋的底側，且長晶爐主體的內壁設定有隔熱層。

所述長晶爐主體的內側安裝有長晶板，且長晶板的兩側設定有散熱口，所述緩衝塊設置於散熱口的內側，且緩衝塊的中部固定有加熱裝置，所述溫度顯示屏鑲嵌於加熱裝置的底端，所述爐蓋的外圈鑲嵌有密封圈，且密封圈的內側設定有排溼口。