矽烷熱分解產生什麼
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矽烷熱分解產生單質矽和氫氣。
矽烷即SiH4的熱分解過程為:
將SiH4氣體匯入SiH4分解爐,在800~900℃的發熱矽芯上,SiH4分解並沉積出高純多晶矽,其反應式如下:SiH4=Si+ 2H2 ↑
SiH4熱分解法有如下優點:
① 分解過程不加還原劑,因而不存在還原劑的玷汙。
② SiH4純度高。
③ SiH4分解溫度紙,一般800~900℃。
因SiH4氣是易燃易爆的氣體,所以整個吸附系統以及分解室都要有高度嚴密性,必須隔絕空氣。
矽烷分解為吸熱反應提高溫度有利於分解,但從氣象往過像載體上成績時,在體溫度存在一個最高值超過此溫度後繼續升高再體溫度。成績速度反而會下降。其最高溫度t等於1250℃。
矽烷在加熱的條件發生的分解反應,產生單質矽(Si)和氫氣(H2),該化學方程式為:
SiH4 ====Si + 2H2, ΔH= - 8. 2 kcal/ mol
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