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led晶片製造流程中使用的裝置

心理3.16W
led晶片製造流程中使用的裝置

LED晶片製造常用裝置

清洗機:用於外延片表面清洗。

光罩對準拋光機:用於LED光罩對準曝光微影製程。該裝置是利用照相的技術JANTX2N7225定義出所需要的圖形,因為採用感光劑易曝光,得在黃色燈光照明區域內工作,所以其I作的區域叫做“黃光區”。

單電子槍金屬蒸鍍系統:用於金屬蒸鍍(ITo,Al,△,Au,Ⅺ,Mo,Pd,Pt,Ag)金屬薄膜歐姆接觸蒸鍍(四元LED,藍光LED,藍光LD)製程。

光譜解析橢圓測厚儀:半導體薄膜厚度及折射率監測。

標籤:led 流程 裝置 晶片