d263t材料引數

技術引數：

a)材料：康寧E-XG、PYREX7740、石英玻璃、BOROFLOAT、B270、D263T、AF32、BK-7

b)標準厚度：0.1mm、0.145mm、0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm、0.7mm、1.0mm、1.1mm、1.5mm（厚度公差±0.02mm）

c)標準尺寸：Φ2"、Φ3"、Φ4"、Φ5"、Φ6"、Φ8"、Φ12"（其他尺寸可定製）

d)外觀：60/4040/2020/10

e)表面粗糙度(Ra)<1.5nm

f)平行度<0.01mm

康寧E-XG玻璃晶圓基本性能：

技術引數：

Density/密度（g/cc）

2、3

Thermal Expansion/膨脹係數

3、0

Tran**ittance/透光率

＞90%

softening point/軟化點

971℃

TTV/平整度

<0.005

Bow/翹曲度

<0.01

Warp/彎曲度

<0.01

Vickers Modulus/維氏硬度

640