靚麗時尚館矽的氮化反應
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工業：高純度矽與純氮氣在1300度反應3Si+2N2=Si3N4.也可以用化學氣相沉積法，在H2的保護下，使SiCl4與N2反應生成的Si3N4沉積在石墨表面，形成一層緻密的Si3N4層。3SiCl4+2N2+6H2=Si3N4+12HCl
標籤：氮化
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