磁控濺射製備奈米材料的優點

優點：

除味、殺菌、韌性強、延長老化時間等。

缺點：

一、點缺陷，如空位，溶質原子和雜質原子等，這是一種零維缺陷。

二、線缺陷，如位錯，一種一維缺陷，位錯的線長度及位錯運動的平均自由程均小於晶粒的尺寸。

三、面缺陷，如孿晶、層錯等，這是一種二維缺陷。奈米晶粒內的位錯具有尺寸效應，當晶粒小於某一臨界尺寸時，位錯不穩定，趨向於離開晶粒，而當粒徑大於該臨界尺寸時，位錯便穩定地存在於晶粒內。