半導體工藝廢氣包括哪些

酸性氣體，鹼性氣體，有機廢氣，有毒氣體。電子半導體行業在生產時會使用顯影劑、光刻膠、清潔劑、蝕刻液等溶劑，而這些溶劑是含有大量的有機物成分。

工業上的有機廢氣處理常用的工藝有:活性炭吸附處理法、酸鹼中和法、電漿法、直接燃燒法、催化燃燒法、吸收法、冷凝法等。