砷烷和磷烷屬於什麼氣體

磷烷、砷烷均為半導體工藝中非常重要的電子氣體，多用於離子注入、摻雜等工藝中。

其中的磷烷是半導體器件製造中的重要N型摻雜源，同時磷烷還用於多晶矽化學氣相沉澱、外延GaP材料、離子注入工藝、MOCVD工藝、磷矽玻璃鈍化膜製備等工藝中。

砷烷主要用於外延矽的 N 型摻雜、矽中的N型擴散、離子注入、生長砷化鎵和磷砷化鎵，以及與IIIA/VA族元素形成半導體化合物等。