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什麼是氮化鎵外延片

心理1.03W
什麼是氮化鎵外延片

氮化鎵(GaN)外延片(Gallium Nitride (GaN)Epiwafers)是指在藍寶石、矽、氮化矽和氮化鎵等襯底上進行氮化鎵外延。

氮化鎵(GaN)作為第三代半導體核心材料之一,具有高擊穿場強、高飽和電子漂移速率、抗輻射能力強和良好的化學穩定性等優良特性,是製作寬波譜、高功率、高效率光電子、電力電子和微電子的理想材料。外延片作為半導體原材料,位於半導體產業鏈上游,是半導體制造產業的支撐性行業。外延片製造商在襯底材料上通過CVD(Chemical Vapor Deposition,化學氣相沉積)裝置、MBE(Molecular Beam Epitaxy,分子束外延)裝置等進行晶體外延生長、製成外延片。

標籤:外延 氮化