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C4F6是什麼氣體
全氟丁二烯(C4F6，六氟丁二烯，六氟-1，3-丁二烯)作為一種溫室效應GWP極低，綠色環保的高效幹蝕刻氣體，用於半導體產品的電漿介質刻蝕，具有更快刻蝕速率、更高選擇性和更高精確性，更適合於高深寬比的蝕刻工藝。全氟丁二烯(C4F6...
