大陸有光刻機嗎
當然是有的。只不過大陸的光刻機沒有達到當今先進製程。目前大陸可以做到最精密的加工製程是90nm,28nm以下製程的光刻機還需要進口。
中國有自己的光刻機,由中國科學院光電技術研究所承擔的國家重大科研裝備研製項目“超分辨光刻裝備研製”通過驗收,這是世界上首台用紫外光實現了22nm分辨率的超分辨光刻裝備,為納米光學加工提供了全新的解決途徑。
雖然ASML光刻機技術先進,但荷蘭並不是一國之力就能製造的。 其中,光學儀器來自美國,透鏡組件來自德國蔡司,另外5萬個零件也依賴海外進口。
雖然中國已經突破了22納米光刻機的技術,但與荷蘭ASML公司的5納米水平仍然有很大差距。 但是,技術總是從無到有,從有到優的過程,就像萬事難以開始一樣。 現在,國產光刻機已經有了良好的開端,相信不會讓國民失望。 同時,中國在科技領域創造的奇蹟已經不少了。
在加工芯片的過程中,光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段,使光束透過繪有電路圖的掩模,用物鏡補償各種光學誤差,將電路圖按比例縮小映射到硅片上,用化學方法顯影,刻在硅片上的電路圖
有,大陸有光刻機。
上海的SMEE已研製出具有自主知識產權的投影式中端光刻機,形成產品系列初步實現海內外銷售。正在進行其他各系列產品的研發製作工作。
光刻機是製造微機電、光電、二極體大規模集成電路的關鍵設備。
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