探針的材質組成
探針的材質是由Au、Ag、Pd、Cu組成,Au濃度4055重量%,Ag濃度1530重量X,且Pd和Cu的總濃度1540重量%。Au是良好的導電體,並且耐氧化性優良,但另一方面,Au較柔軟,在硬度方面較差。
通過添加具有以下作用的Ag、Pd、Cu作為Au的合金元素,從而實現了硬度、導電性、耐氧化性的平衡。在此,Pd和Cu雖然具有提高合金的硬度的作用,但對導電性的影響不同,Pd具有提高比電阻的傾向,而Cu具有降低比電阻的傾向。
此外,Ag對硬度的影響小,是為了降低比電阻而添加的。即,Ag是為了抵消因添加Pd使得Au濃度降低而導致的比電阻的上升而添加的。
根據上述各元素的作用,滿足探針用途中的硬度和比電阻的要求的組成是如下組成Au濃度為4055重量%,Ag濃度為1530重量%,在其中添加以Pd和Cu兩種元素的總濃度計為1540重量%的Pd和Cu。優選的組成是Au濃度4050重量%,Ag濃度1530重量%,Pd和Cu的總濃度3040重量%。
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