清洗单晶炉累吗
累
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
单晶炉的构成:1、提拉头:主要由安装盘、减速机、籽晶腔、划线环、电机、磁流体、籽晶称重头、软波纹管等其他部件组成
2、副室:主要是副室筒以及上下法兰组成
3、炉盖:副室连接法兰、翻板阀、观察窗、抽真空管道组成
4、炉筒:包括取光孔。
5、下炉筒:包括抽真空管道。
6、底座机架:全铸铁机架和底座。
7、坩埚下传动装置:主要由磁流体、电机、坩埚支撑轴、减速机、软波纹管、立柱、上下传动支撑架、导轨等部件组成。8、分水器已经水路布置:包括分水器、进水水管、若干胶管、水管卡套等。
9、氩气管道布置:质量流量计、3根以上的柔性管、不锈钢管、3个压力探测器、高密封性卡套等部件。
10、真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵、水环真空泵、过滤器、真空管道、硬波纹管等。
11、电源以及电控柜:电源柜、滤波柜、控制柜、以及连接线。
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