光刻膠原材料是什麼

光刻膠原材料主要爲樹脂、溶劑和其他添加劑。其中溶劑質量佔比最大，一般在80%以上。其他添加劑質量佔比雖不足5%，卻是決定光刻膠特有性質的關鍵材料，包括光敏劑、表面活性劑等材料。