掩膜材料

掩膜主要由透光的基板和不透光的遮光膜組成。按基板材料分類，主要分為玻璃基板(石英玻璃、蘇打玻璃和硼矽玻璃)和樹脂基板兩大類其中，因石英玻璃的化學穩定性高和熱膨脹率小的優勢，在使用環境上相對於其他材料對工藝生產環境的要求較低，現主要應用於製造高世代、高精度產品如高世代IC和超大尺寸顯示面板。