清洗單晶爐累嗎
累
單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶矽等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的裝置。
單晶爐的構成:1、提拉頭:主要由安裝盤、減速機、籽晶腔、劃線環、電機、磁流體、籽晶稱重頭、軟波紋管等其他部件組成
2、副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成
3、爐蓋:副室連線法蘭、翻板閥、觀察窗、抽真空管道組成
4、爐筒:包括取光孔。
5、下爐筒:包括抽真空管道。
6、底座機架:全鑄鐵機架和底座。
7、坩堝下傳動裝置:主要由磁流體、電機、坩堝支撐軸、減速機、軟波紋管、立柱、上下傳動支撐架、導軌等部件組成。8、分水器已經水路佈置:包括分水器、進水水管、若干膠管、水管卡套等。
9、氬氣管道佈置:質量流量計、3根以上的柔性管、不鏽鋼管、3個壓力探測器、高密封性卡套等部件。
10、真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵、水環真空泵、過濾器、真空管道、硬波紋管等。
11、電源以及電控櫃:電源櫃、濾波櫃、控制櫃、以及連線線。
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