探針的材質組成

探針的材質是由Au、Ag、Pd、Cu組成，Au濃度4055重量％，Ag濃度1530重量X，且Pd和Cu的總濃度1540重量％。Au是良好的導電體，並且耐氧化性優良，但另一方面，Au較柔軟，在硬度方面較差。

通過新增具有以下作用的Ag、Pd、Cu作為Au的合金元素，從而實現了硬度、導電性、耐氧化性的平衡。在此，Pd和Cu雖然具有提高合金的硬度的作用，但對導電性的影響不同，Pd具有提高比電阻的傾向，而Cu具有降低比電阻的傾向。

此外，Ag對硬度的影響小，是為了降低比電阻而新增的。即，Ag是為了抵消因新增Pd使得Au濃度降低而導致的比電阻的上升而新增的。

根據上述各元素的作用，滿足探針用途中的硬度和比電阻的要求的組成是如下組成Au濃度為4055重量％，Ag濃度為1530重量％，在其中新增以Pd和Cu兩種元素的總濃度計為1540重量％的Pd和Cu。優選的組成是Au濃度4050重量％，Ag濃度1530重量％，Pd和Cu的總濃度3040重量％。