bpsg是什麼化學物質

硼磷矽酸鹽玻璃

BPSG材料是有機磷、硼化合物，包括：

TMB/TMP/TMPO/TEB/TEPO

性質：均為無色有刺激性氣味的液體。

應用：用於晶圓製造過程中與TEOS混合，通過CVD工藝沉積。

硼磷矽玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即摻雜了硼和磷的二氧化矽作為第一層金屬前介電質(PMD)以及金屬層間介電質(AVID)在IC製造中有著廣泛的應用。二氧化矽原有的有序網路結構由於硼磷雜質(B2O3、P2O5 )的加入而變得疏鬆，在高溫條件下某種程度上具有像液體一樣的流動能力( Reflow )。

BPSG:為硼磷矽玻璃，含有B，P元素的SiO2，加入B，P可以降低Flow溫度，並且P吸附一些雜質離子，流動性比較好，作為ILD的平坦化介質。

硼磷矽玻璃（boro-phospho-silicate-glass，BPSG）：

這是一種摻硼的SiO2玻璃。可採用CVD方法（SiH4+O2+PH3+B2H6，400oC~450oC）來製備。BPSG與PSG（磷矽玻璃）一樣，在高溫下的流動性較好，廣泛用作為半導體晶片表面平坦性好的層間絕緣膜。