mks真空規管是什麼原理

美國MKS真空計按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學效能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。

利用力學效能的真空計典型的有波爾登規（Bourdon）和薄膜電容規利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規和熱電偶規利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。