單晶爐為什麼用氬氣

因為氬氣在單晶矽生產中具有重要作用，氬氣是惰性氣體，它作為一種保護氣體包圍在單晶矽 和多晶矽的液麵周圍，可以保護單晶矽和多晶矽不被氧化。

氬氣是一種單原子氣體，以原子狀 態存在，在高溫下沒有分子分解或原子吸熱的現象。  氬氣的比熱容和熱傳導能力小，即本身吸 收量小，向外傳熱也少，所以氬氣的存在還可以減少熱能的散失，起到節能的作用。  

 不僅如此 ，由於氬氣在單晶爐內是流動的，所以還可以帶走矽液中的揮發物，以及高溫下的其他部位 的揮發物，這樣一來，就可以防止單晶矽或多晶矽液被沾汙，而影響單晶矽的產品質量。  另外，氬氣從上而下形成均勻的層流從晶體表面掠過，可以帶走結晶潛熱，從而可以保證單晶矽正常生長。