電子顯微鏡由哪些部分組成

電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源櫃三部分組成。

1、鏡筒主要有電子源、電子透鏡、樣品架、熒光屏和探測器等部件，這些部件通常是自上而下地裝配成一個柱體。

2、真空裝置用以保障顯微鏡內的真空狀態，這樣電子在其路徑上不會被吸收或偏向，由機械真空泵、擴散泵和真空閥門等構成，並通過抽氣管道與鏡筒相聯接。

3、電源櫃由高壓發生器、勵磁電流穩流器和各種調節控制單元組成。