大陆有光刻机吗
当然是有的。只不过大陆的光刻机没有达到当今先进制程。目前大陆可以做到最精密的加工制程是90nm,28nm以下制程的光刻机还需要进口。
中国有自己的光刻机,由中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收,这是世界上首台用紫外光实现了22nm分辨率的超分辨光刻装备,为纳米光学加工提供了全新的解决途径。
虽然ASML光刻机技术先进,但荷兰并不是一国之力就能制造的。 其中,光学仪器来自美国,透镜组件来自德国蔡司,另外5万个零件也依赖海外进口。
虽然中国已经突破了22纳米光刻机的技术,但与荷兰ASML公司的5纳米水平仍然有很大差距。 但是,技术总是从无到有,从有到优的过程,就像万事难以开始一样。 现在,国产光刻机已经有了良好的开端,相信不会让国民失望。 同时,中国在科技领域创造的奇迹已经不少了。
在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,使光束透过绘有电路图的掩模,用物镜补偿各种光学误差,将电路图按比例缩小映射到硅片上,用化学方法显影,刻在硅片上的电路图
有,大陆有光刻机。
上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机,形成产品系列初步实现海内外销售。正在进行其他各系列产品的研发制作工作。
光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。
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